| 发明名称 |
NOVEL AIR BRIDGE PROCESS FOR FORMING AIR GAPS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG107557(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.29 |
| 申请号 |
SG20000006248 |
申请日期 |
2000.10.31 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
SIMON CHOOI;ZHOU MEI-SHENG;XU YI |
| 分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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