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发明名称
ADJUSTMENT OF N AND K VALUES IN A DARC FILM
摘要
申请公布号
SG107637(A1)
申请公布日期
2004.12.29
申请号
SG20030000560
申请日期
2003.02.17
申请人
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人
ZHI-CHERNG LU;CHI-CHUN CHEN;WENG CHANG
分类号
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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