发明名称 Multiple work function gates
摘要 A method of forming a first and second transistors with differing work function gates by differing metals deposited to react with a silicon or silicon-germanium gate layer.
申请公布号 US6835639(B2) 申请公布日期 2004.12.28
申请号 US20020302212 申请日期 2002.11.22
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 ROTONDARO ANTONIO L. P.;VISOKAY MARK R.
分类号 H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/476;H01L21/44 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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