| 发明名称 |
REFLEKTIERENDER ÜBERZUG FÜR WIEDERHOLTES BEUGUNGSGITTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69827604(D1) |
申请公布日期 |
2004.12.23 |
| 申请号 |
DE19986027604 |
申请日期 |
1998.01.12 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
MORTON, G.;BLASIAK, THOMAS C. |
| 分类号 |
G02B1/10;G02B5/18;H01S3/08;(IPC1-7):G02B5/18;B05D5/06 |
主分类号 |
G02B1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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