| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung ermöglicht die Quantifizierung einer Verkürzung eines Leitbahnendes durch die Verwendung einer Struktur mehrfacher Leitpfade, wobei jeder Leitpfad an jedem Ende einen Leiter aufweisen kann und wobei jeder Leiter über einen separaten Kontakt mit den durch einen Polysiliziumleiter verbundenen Kontakten verbunden ist. Die Leiter können in bezug auf die Länge von Leitpfad zu Leitpfad um ein konstantes Inkrement variieren, ausgehend von einer Länge, die in einer wesentlichen Überlappung an den Kontakten resuliert, bis hin zu einer Länge, die in einem wesentlichen Versatz an den Kontakten resultiert. Widerstandsmessungen jedes Leitpfades können so lange durchgeführt werden, bis ein Wechsel entweder zu oder von einem "Offen" stattfindet. Dies ist der Punkt, von dem aus das LES unter Verwendung des konstanten Inkrements ermittelt werden kann.
|
