发明名称 Method of manufacturing integrated circuits
摘要
申请公布号 GB2176653(A) 申请公布日期 1986.12.31
申请号 GB19850015659 申请日期 1985.06.20
申请人 THE * GENERAL ELECTRIC COMPANY P L C 发明人 MICHAEL GEOFFREY * PITT
分类号 G01R31/28;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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