发明名称 | 分选机测试夹紧机构 | ||
摘要 | 本实用新型涉及半导体加工工艺中的分选机,特别是一种分选机测试夹紧机构。它由簧片机构和压靠机构组成,该簧片机构包括一测试簧片保持架和位于测试簧片保持架上的左、右测试簧片,该压靠机构包括一气缸及由该气缸驱动的压块,该驱动压块分别位于左、右测试簧片两侧。该单气缸驱动压块工作的结构比左、右侧双气缸驱动机构更利于压块保持相同速度、力量,相对于集成电路保持一致的行程,且节省了材料。 | ||
申请公布号 | CN2664799Y | 申请公布日期 | 2004.12.22 |
申请号 | CN200320107978.5 | 申请日期 | 2003.11.12 |
申请人 | 梁大明 | 发明人 | 梁大明 |
分类号 | B07C5/38;G01R31/26 | 主分类号 | B07C5/38 |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 王敏杰 |
主权项 | 1、一种分选机测试夹紧机构,由簧片机构和压靠机构组成,该簧片机构包括一测试簧片保持架和位于测试簧片保持架上的左、右测试簧片,其特征在于:该压靠机构包括一气缸及由该气缸驱动的压块,该驱动压块分别位于左、右测试簧片两侧。 | ||
地址 | 200231上海市上中路462号2号楼1楼 |