| 发明名称 | 阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构，其特征在于，该结构包括一个阵列波导光栅及与阵列波导光栅输入、输出波导阵列对准耦合的输入和输出光纤阵列，阵列波导光栅与光纤阵列集成在同一片硅衬底上，所述阵列波导光栅的输入/输出波导与光纤阵列采用自对准方法直接进行端面耦合，其中光纤阵列由硅衬底外延生长一层厚硅膜形成的基片上的V或U形槽阵列、上盖片和多芯单模光纤通过粘接剂粘合而成。 | ||
| 申请公布号 | CN1181361C | 申请公布日期 | 2004.12.22 |
| 申请号 | CN01144119.4 | 申请日期 | 2001.12.11 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 刘育梁;贺月娇 |
| 分类号 | G02B6/12;G02B6/30;G02B6/34 | 主分类号 | G02B6/12 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1.一种阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构，其特征在于，该结构包括一个阵列波导光栅及与阵列波导光栅输入、输出波导阵列对准耦合的输入和输出光纤阵列，阵列波导光栅与光纤阵列集成在同一片硅衬底上，所述阵列波导光栅的输入/输出波导与光纤阵列采用自对准方法直接进行端面耦合，其中光纤阵列由硅衬底外延生长一层厚硅膜形成的基片上的V或U形槽阵列、上盖片和多芯单模光纤通过粘接剂粘合而成。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路肖庄 | ||