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发明名称 A METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING NANOSCOPIC STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1487739(A1) 申请公布日期 2004.12.22
申请号 EP20030744974 申请日期 2003.03.25
申请人 MATVICE EHF. 发明人 OLAFSSON, SVEINN
分类号 B62B1/00;B82B1/00;B82B3/00;(IPC1-7):B82B3/00 主分类号 B62B1/00
代理机构 代理人
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