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发明名称
ARBITRARILY WIDE LENS ARRAY WITH AN IMAGE FIELD TO SPAN THE WIDTH OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP0809814(B1)
申请公布日期
2004.12.22
申请号
EP19960906433
申请日期
1996.02.12
申请人
ULTRATECH, INC.
发明人
MARKLE, DAVID, A.
分类号
G02B3/00;G02B13/26;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/00
主分类号
G02B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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