| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING ELECTRODE OF MICRO GYROSCOPE TO REMOVE SWELLING CAPABLE OF OCCURRING IN ETCHING SACRIFICIAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100464292(B1) |
申请公布日期 |
2004.12.22 |
| 申请号 |
KR19970019856 |
申请日期 |
1997.05.21 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, HO SEOK;OH, YONG SU |
| 分类号 |
H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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