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发明名称 TFBAR with coupling coefficient control layer
摘要
申请公布号 GB2403064(A) 申请公布日期 2004.12.22
申请号 GB20040011552 申请日期 2004.05.24
申请人 * AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 PAUL D * BRADLEY;YURY * OSHMYANSKY;BENJAMIN * YU;JOHN D * LARSON III
分类号 H01L41/09;H01L41/187;H01L41/22;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/17;(IPC1-7):H03H9/15 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
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