| 发明名称 |
Method and system for manufacturing III-V group compound semiconductor and III-V group compound semiconductor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0425329(D0) |
申请公布日期 |
2004.12.22 |
| 申请号 |
GB20040025329 |
申请日期 |
2002.05.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/40 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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