发明名称 | 光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器 | ||
摘要 | 一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器,包括按阵列分布的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板,热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧,本发明的关键在于:整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构;热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布;红外吸收板与变形梁连接,支撑梁与热隔高梁连接;每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成;所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明不仅工艺实现简单,而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏,对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线,更多的能量直接到达探测单元,使探测更灵敏。 | ||
申请公布号 | CN1556648A | 申请公布日期 | 2004.12.22 |
申请号 | CN200310112820.1 | 申请日期 | 2003.12.31 |
申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 潘亮;张青川;伍小平;段志辉;陈大鹏;王玮兵 |
分类号 | H04N5/33;H01L31/09 | 主分类号 | H04N5/33 |
代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王之梓 |
主权项 | 1、一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器,包括按阵列分布的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板,热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧,其特征在于:整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构;热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布;红外吸收板与热变形机构连接,热变形机构与支撑梁连接;每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成;所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。 | ||
地址 | 230026安徽省合肥市金寨路96号 |