一种晶圆反应室转接器

摘要

本实用新型涉及一种作为圈住被送入反应室晶圆外围，转接基座与石英之间，密封与保护的环型导电转接体的晶圆反应室转接器。一种晶圆反应室转接器，其特点在于：所述晶圆反应室转接器1经过正极处理后，在其上下平面的环沿设有数个以上的导电销钉13、14，及设有数个以上作为此转接器与基座固定用的螺丝孔12，在对角线的位置设有一组或二组与螺丝孔内径相仿或稍大，内部光滑之定位孔11，与设置于基座上的定位插销2套合；在转接器面对基座的平面上，对应放置于基座的迫紧用O型环4的内外侧适当的距离处，标示有二条鲜明线条，作为刮痕检视区。

主权项

1、一种晶圆反应室转接器，其特征在于：所述晶圆反应室转接器(1)经过正极处理后，在其上下平面的环沿设有数个以上的导电销钉(13)、(14)，及设有数个以上作为此转接器与基座固定用的螺丝孔(12)，在对角线的位置设有一组或二组与螺丝孔内径相仿或稍大，内部光滑之定位孔(11)，与设置于基座上的定位插销(2)套合；在转接器面对基座的平面上，对应放置于基座的迫紧用O型环(4)的内外侧适当的距离处，标示有二条鲜明线条，作为刮痕检视区。