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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR LASER STRUCTURING FUNCTIONAL POLYMERS AND THE USES THEREOF
摘要 <p>The invention relates to a device and process for laser structuring and applications thereof in the production of semiconductors.</p>
申请公布号 EP1487605(A1) 申请公布日期 2004.12.22
申请号 EP20030711841 申请日期 2003.03.12
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BERNDS, ADOLF;CLEMENS, WOLFGANG;ROTH, HANS-KLAUS;SCHROEDNER, MARIO;STOHN, RALF-INGO
分类号 B23K26/06;B23K26/40;H01L51/00;H01L51/40;H05K3/00;(IPC1-7):B23K26/06;B23K26/08;G03F7/00 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
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