发明名称 Process for self-aligned manufacture of integrated electronic devices
摘要
申请公布号 EP1420442(A3) 申请公布日期 2004.12.22
申请号 EP20030104191 申请日期 2003.11.13
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 BEZ, ROBERTO;GROSSI, ALESSANDRO
分类号 H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/763;H01L21/824;H01L21/823 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
地址