| 发明名称 | 射频等离子发生器 | ||
| 摘要 | 一包括一对电极的等离子反应发生器，电极由分开并互相面对的两个金属面(42，38)组成并在两个金属面之间形成等离子放电腔。一个金属面(38)成为带有许多输气孔(44)的金属板的表面。这些输气孔与沿着面对等离子放电腔的金属板延伸的配气室(46)连通。配气室(46)有面对金属板并保持一定距离的容器壁，容器壁也有多个在所述壁分布并连接到至少一个输气管路(52)的输气孔(50)。因此，等离子放电腔(36)的气体分布是得到非常精确的控制的。 | ||
| 申请公布号 | CN1181709C | 申请公布日期 | 2004.12.22 |
| 申请号 | CN01117251.7 | 申请日期 | 2001.04.26 |
| 申请人 | 尤纳克西斯巴尔策斯公司 | 发明人 | E·图尔洛特;J·－B·彻夫里尔;J·施米特;J·巴雷罗 |
| 分类号 | H05H1/24;C23C16/54 | 主分类号 | H05H1/24 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 赵辛 |
| 主权项 | 1.一种射频等离子发生器，包括：一反应容器；反应容器里面的一对电极，这对电极由分隔开并且相互面对的两个金属面组成，在两个金属面之间形成等离子放电腔，至少一个所述的金属面也为带有许多输气筛孔的金属板的表面；所述输气筛孔从配气室开始穿过所述金属板和金属面，通向所述等离子放电腔；所述配气室，沿着相对所述等离子放电腔的所述金属板延伸，所述配气室有与所述板相对并有一定间隔的后壁；还包括一套进气装置，所述进气装置带有很多进气孔，所述进气孔沿所述后壁分布，并且至少与通向所述射频等离子发生器的一个进气通道相通。 | ||
| 地址 | 列支敦士登菲尔斯滕图姆 | ||