| 发明名称 |
METHOD FOR COATING A SUBSTRATE AND DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1488023(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.22 |
| 申请号 |
EP20030744817 |
申请日期 |
2003.03.19 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
JUERGENSEN, HOLGER;HEUKEN, MICHAEL |
| 分类号 |
H05B33/10;B05D3/00;C23C14/12;C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/363;H01L51/00;H01L51/40;H01L51/42;H01L51/50;(IPC1-7):C23C16/448;C23C14/54;C23C16/52 |
主分类号 |
H05B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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