| 发明名称 | 高速干燥装置 | ||
| 摘要 | 由不挥发性液体或挥发性液体洗洗过的被洗涤体迅速而廉价地被干燥并防止该被洗涤体表面被氧化。残留于被洗涤体上的洗涤剂被去除到不能因洗涤剂存在而使被洗涤体表面被空气氧化的程度，而后立即将被洗涤体置于超干燥环境中完全去除残留于被洗涤体上的洗涤剂。 | ||
| 申请公布号 | CN1556909A | 申请公布日期 | 2004.12.22 |
| 申请号 | CN03801101.8 | 申请日期 | 2003.01.24 |
| 申请人 | 协和化工株式会社 | 发明人 | 竹森利则;茂木正树 |
| 分类号 | F26B15/00;F26B5/00;H01L21/304 | 主分类号 | F26B15/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 1.一种高速干燥装置，其特征在于，在该干燥装置的内侧壳体内构成借从不挥发性液体或挥发性液体洗涤过的被洗涤体表面吹拂空气来除去残留液体的残留液体除去室，和相邻于该残留液体除去室、由空气吹拂来干燥已除去了残留液体的被洗涤体的超干燥室；外侧壳体留下空间包围所述内侧壳体；输送被洗涤体的输送通路连通所述内侧壳体、外侧壳体、所述残留液体除去室以及所述超干燥室。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||