发明名称 System for microfabrication of structures and substructures having non-vertical and/or arbitrarily profiled sidewalls
摘要
申请公布号 GB0425718(D0) 申请公布日期 2004.12.22
申请号 GB20040025718 申请日期 2004.11.23
申请人 LIU, WAI Y 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
地址