| 发明名称 |
METHOD OF PROVIDING PROCESS ELEMENTS TO SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING EQUIPMENT WITHOUT OVER-SHOOT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100463910(B1) |
申请公布日期 |
2004.12.20 |
| 申请号 |
KR19970014052 |
申请日期 |
1997.04.16 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
SEO, JEONG GEUN |
| 分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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