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发明名称
INDIRECTLY HEATED CATHODE ION SOURCE
摘要
申请公布号
KR20040106580(A)
申请公布日期
2004.12.17
申请号
KR20047018831
申请日期
2003.05.22
申请人
发明人
分类号
H01J27/02;H01J1/20;H01J1/26;H01J27/04;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317
主分类号
H01J27/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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