藉由UV曝光而提升致密及多孔有机矽酸盐材料之机械性质的方法MECHANICAL ENHANCEMENT OF DENSE AND POROUS ORGANOSILICATE MATERIALS BY UV EXPOSURE

摘要

一种低介电材料和包含该低介电材料的薄膜，当在积体电路中用作为层间电介质时，具有改善性能，以及制备该材料和薄膜的方法。在本发明的一方面，有机矽酸盐玻璃薄膜被曝露在紫外光源下，其中该薄膜在曝光后，其机械性能(例如材料硬度和弹性模数)至少比沈积的薄膜要提高10％或更多。