积体电路与其形成方法与电子元件

摘要

一种多层金属内导线制程，藉使用第一极低介电常数材料于较低层金属层中、第二极低介电常数材料于中间层金属层中与低介电常数材料于上层金属层中，以提供良好的电性与机械性。