快速排水清洗槽

摘要

一种快速排水清洗槽(Quick Dump Rinse Tank；QDR Tank)，至少包含一槽体与一导流板(Flow Regulator Plate)。其中，此槽体之底部至少包括一排水孔，且导流板固定在排水孔上方之槽体内。此导流板可用以将槽体内之流场从大喷流转变成小喷流，而消除晶圆黏贴效应(Sticking Effect)。