反射式空间光调节器镜子元件之制造方法

摘要

一种反射式空间光调节器(Spatial Light Modulator)镜子元件之制造方法，其系定义镜子之图案时，同时去除部分之镜子层与镜子层下方之第一牺牲层，而暴露出基材。接着，共形沉积第二牺牲层，再于第二牺牲层上同时定义出基材接触窗开口与镜子层接触窗开口。然后，共形沉积支撑材料层，并对此支撑材料层进行回蚀刻后，而在基材接触窗开口中形成镜子层之支撑柱。其中，可在对支撑材料层进行回蚀刻前，先于基材接触窗开口中填入光阻材料，以确保基材接触窗开口中之支撑材料层，增加支撑柱的结构强度。