摘要 |
一种半导体元件测试装置及方法,其系用以测试一半导体元件。该半导体元件测试装置的时脉产生器系用以产生一时脉信号,并透过一时脉传输线系用以将该时脉信号传送给该半导体元件。在测试之前,半导体元件测试装置会使测试相关资料的传送及接收系与该时脉产生器所产生之时脉信号同步。本发明系使用同时双向传输信号技术,以透过一条单一的传输线,在该半导体元件测试装置及该半导体元件之间同时传送及接收测试相关资料。而半导体元件亦会使用同一传输线,以传回对应于该测试相关资料的回覆信号。使用同时双向传输信号技术系可减少测试所须耗费的时间及测试所所须之接脚的数目,藉此,测试过程所须之成本及测试装置的复杂度亦可大幅减低。 |