摘要 |
高精度地进行形成在TAB,COF等带的电极垫片的检查。对于以一定间隔设于带1的电路图案形成领域10,10a的复数电极垫片11,藉由大约以垂直状态配置于测试装置2的复数探针21从大约垂直方向分别接触俾进行电性检查将与对应于各电路图案形成领域10,10a地形成于带表面的对位用对准标记13a,13b,13c,13d相对应的标记确认孔26设于测试装置2,而在测试装置2与带1的相反侧配置摄影机31的状态下,一面经由摄影机31进行观察一面调整测试装置2与带1的相对位置使得对准位置位于标记确认孔25的内部。 |