NF3生产反应器

摘要

一种生产三氟化氮的方法，其在具较低能量输入之第一反应区中将氟气与液态酸氟化氨反应，然后在具较高能量输入之第二反应区处理形成的反应产物。形成的粗三氟化氮产物可更进一步在增温下以氟气处理而改良所需产物之产率。