可用于半导体加工中之羧酸钛膜

摘要

本发明包括显示改良之水解稳定性和光敏度的碳酸钛膜之形成。该等薄膜可使用于半导体加工中以在基材上沈积钛和氧化钛层和形成图案而没有使用光阻剂。较佳羧酸钛为直链和支链羧酸盐，其中烷氧化物成分为醇，支链羧酸钛，其中烷氧化物成分为二醇，直链和支链α–羟基羧酸钛化合物，和二羧酸钛化合物。