藉由电子附着去除表面氧化物的电极组

摘要

本发明公开了一种用于去除基材表面金属氧化物的装置和包含该装置的方法。一个较佳的实施方式中，装置包含一个具外壳的电极组，该外壳至少部分含有绝缘材料并具有内部空间和至少一个与内部空间液体连接的液体入口；连于外壳上的导电基底，该基底包含延伸至目标区域中的大量导电端和延伸穿过其中而与内部空间液体传递中的大量小孔，以允许含还原气体的气体混合物通过。