微影术用冲洗液及使用其的光阻图案形成方法

摘要

【目的】本发明系提供微影术用冲洗液及使用其之图案形成方法，可防止光阻图案之剥落或倒塌，特别是可以良好再现性形成纵横比大的光阻图案。【构成】使用包括水及非离子性界面活性剂之微影术用冲洗液，其中非离子性界面活性剂系含有乙烯氧基、不含有氟原子，以进行显像处理后光阻图案之清洗。