金属层的改质方法

摘要

本发明揭示一种金属层的改质方法。首先，提供一半导体基底。接着，形成一第一金属阻障层于上述基底表面。接着，形成一金属层于上述第一金属阻障层表面。然后，形成一第二金属阻障层于上述金属层表面。最后，实施一改质程序。该改质程序包括1.以热处理方式，包括烘烤或快速冷却，改质金属层。2.以含氮气体处理方式改质金属层。而改质程序可施行于1.形成金属层之前，2.形成金属层之后，3.形成第二金属阻障层之钛之后，4.形成第二金属阻障层之氮化钛之后。