放电表面处理方法及放电表面处理装置

摘要

本发明提供一种放电表面处理方法及放电表面处理装置，为了藉由放电表面处理，进行厚膜的形成，故检测放电中之电极与工件间的电压，而当检测出该电压降低时，则判断放电表面处理状态为异常，藉此方式，可确实检测出放电表面处理的不稳定现象，所以可在因该不稳定现象导致覆膜状态及电极状态恶化前，实施适当的因应处理。亦即，藉由判别放电表面处理的稳定度，来防止覆膜及电极的损伤。