具优异之电浆抗老化效果的含氟弹性体组成物及其成型物

摘要

本发明提供，不良影响不损及耐热性及加工性，而且在半导体之制造步骤中，对曝露之氟系电浆及氧气电浆的重量变化均极小，于其处理中能显着抑止杂质(particle)之发生的含氟弹性体组成物，以及由该组成物所成的成型物。