臭氧之发生方法

摘要

对放电式之臭氧化发生器供给高纯度氧气令臭氧发生时可防止添加氮气所述造成的弊害并且可防止臭氧浓度的降低。由氧气源对臭氧化发生器供给高纯度氧气时，对此高纯度氧气复合添加氧化碳气体(CxOy气)及氮气。可令氮气添加量不会发生弊害地抑制于0.01％以下，加上可令氧化碳气体(CxOy气)之添加量以经济性佳且抑制于1.0％以下。氧化碳气体(CxOy气)代表性为二氧化碳气体或一氧化碳气体或彼等的混合气体。