利用等温加热器针对负偏压温度不稳定性效应进行元件可靠性测试

摘要

本发明提供一种针对负偏压温度不稳定性(NBTI)的效应之元件可靠性测试方法，此测试方法系运用建构在晶圆上元件周围之等温加热器(isothermal heater)以进行等温测试(isothermal test)，以达到能快速升温加热以评估NBTI所造成的品质降低程度，据此有效判断出元件寿命可靠性，并节省测试时间及成本的目的。此方法属于晶圆层次可靠性测试，所以不需封装层次测试的庞大时间及成本，并可用在生产线上直接监测元件的可靠性。本发明亦提出建构此等温加热器的几种不同结构。