微量气体之测量系统与方法

摘要

一种微量气体之测量系统与方法，系使用下环腔光谱法(cavity ring–down spectroscopy,CRDS)以量测包含于一液体或一气体内之微量气体。此系统包括一色层分析仪，用于将一流体分解成多数个气态成分，这些气态成分系由色层分析仪之一输出口输出。一下环腔光谱单元(CRDS unit)系连接于色层分析仪之输出口，且下环腔光谱单元依据色层分析仪所提供之这些气态成分的至少一部分，以测定至少一微量物质(trace species)之一量测等级。