| 摘要 |
本发明之目的在提供，可达成DOF特性之提升的正型光阻组成物，及形成光阻图型之方法。该正型光阻组成物系其特征为：含有(A)硷可溶性树脂，(B)二叠氮酯化物，(C)下述一般式(III)之分子量1000以下的含酚式羟基之化合物，以及(D)有机溶剂而成的制造LCD用正型光阻组成物。093114317-p01.bmp【式中R^21至R^28各自独立表氢原子、卤素原子、碳原子数1至6之烷基、碳原子数1至6之烷氧基或碳原子数3至6之环烷基；R^29至R^32各自独立表氢原子或碳原子数1至6之烷基；e、f及h各表1至3之整数；e、f或h系3时各无R^23、R^26或R^28；m表1至5之整数。】 |
