高耐电压性构件

摘要

〔用以解决课题之手段〕本发明为一种高耐电压性构件，其特征为由含有原子序64～71的稀土元素(Rere earthelements)氧化物之溶射皮膜所构成之高耐电压溶射皮膜材料。〔发明之效果〕本发明提供一种高耐电压性构件，可妥适地作为介电体滚筒(dielectric roll)、加热基板、半导体制造装置的静电吸盘构件、微波发热体等之用。