发明名称 | 炉管产能监视系统及其运作方法 | ||
摘要 | 一种炉管产能监视系统及其运作方法。此炉管产能监视系统系藉由将由炉管中所撷取到的实际产能资料与标准产能资料做比较,因此由实际产能资料与标准产能资料的差异,即可做为将来制程改善的依据,而使制程更臻于完美。 | ||
申请公布号 | TW200428204 | 申请公布日期 | 2004.12.16 |
申请号 | TW092115013 | 申请日期 | 2003.06.03 |
申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 谢琼芳;林隆藩;陈静仪;叶景丰;刘其勇;林书颂 |
分类号 | G06F11/34;H01L21/22 | 主分类号 | G06F11/34 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学园区力行路十六号 |