发明名称 |
SWITCHED POINT LIGHT SOURCE ARRAY AND ITS USE IN INTERFEROMETRY |
摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein schaltbares Punktlichtquellen-Array oder SLM sowie dessen Verwendung zur interferometrischen Vermessung von Prüflingsoberflächen insbesondere mit asphärischen Oberflächen. Das Punktlichtquellen-Array besteht aus einem Flüssigkristalldisplay oder LCD (2), einem hinter dem LCD (2) angeordneten Mikrolinsen-Array (3), durch das der Eingangsstrahl (1) nach Durchgang durch das LCD (2) in einzelne Teilstrahlen aufgespaltet wird, und einem Lochblenden-Array (4). Das Lochblenden-Array (4) bewirkt, dass nur eine durch Beugung an einem in das LCD (2) eingeschriebenen Beugungsmuster entstehende erste oder höhere Beugungsordnung (5) auf Blendenöffnungen des Lochblenden-Arrays (4) trifft. Anstatt des LCDs kann auch ein Kippspiegelarray oder DMD verwendet werden. Durch Einbau des Punktlichtquellen-Arrays in ein Interferometer lassen sich sehr genau bekannte Wellenfronten unterschiedlicher Ausbreitungsrichtung als Referenzwellen erzeugen, die sich unabhängig voneinander schalten und in ihrer Phase schieben lassen.</p> |
申请公布号 |
WO2004109225(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.16 |
申请号 |
WO2004DE01114 |
申请日期 |
2004.06.01 |
申请人 |
UNIVERSITAET STUTTGART;LIESENER, JAN;PRUSS, CHRISTOF |
发明人 |
LIESENER, JAN;PRUSS, CHRISTOF |
分类号 |
G01B9/02;G01J3/10;G01J3/12;G02B26/08;G02F1/1335;(IPC1-7):G01B9/02;G02F1/13 |
主分类号 |
G01B9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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