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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR AUTOMATIC DEVELOPING
摘要
申请公布号 JPH02205852(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890025225 申请日期 1989.02.03
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUOKA YASUO
分类号 G03F7/26;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
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