发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SPEICHERZELLEN-ARRAYS
摘要
申请公布号 DE59812254(D1) 申请公布日期 2004.12.16
申请号 DE19985012254 申请日期 1998.12.15
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 TEMPEL, GEORG;KUTTER, CHRISTOPH
分类号 H01L21/8247;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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