| 发明名称 |
Methode und Vorrichtung zur Beobachtung einer porösen, amorphen Schicht und Methode und Vorrichtung zur Herstellung derselben. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60015687(D1) |
申请公布日期 |
2004.12.16 |
| 申请号 |
DE20006015687 |
申请日期 |
2000.09.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KAWAMURA, SHIGERU |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/04;C23C16/52;G01R31/265;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):C23C16/56;C23C16/22 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
