| 发明名称 |
COMPARING/TESTING METHOD OF PATTERNS AND APPARATUS THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0333605(A) |
申请公布日期 |
1991.02.13 |
| 申请号 |
JP19890167086 |
申请日期 |
1989.06.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ENDO FUMIAKI;MAEDA SHUNJI;KUBOTA HITOSHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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