Positioniereinrichtung für Halbleiterobjekte,申请号DE20025001507-传众专利搜索

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发明名称	Positioniereinrichtung für Halbleiterobjekte
摘要
申请公布号	DE50201507(D1)	申请公布日期	2004.12.16
申请号	DE20025001507	申请日期	2002.11.27
申请人	HSEB HEINZE & SUELLAU ENTWICKLUNGSBUERO DRESDEN GMBH	发明人	HEINZE, MANFRED;RAUE, HAGEN;KOENIG, JOACHIM
分类号	B23Q15/22;G01N21/95;G03F7/20;H01L21/00;(IPC1-7):B23Q15/22	主分类号	B23Q15/22
代理机构		代理人
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