发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE AND ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 KR20040105790(A) 申请公布日期 2004.12.16
申请号 KR20047014954 申请日期 2003.01.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/84;B81B3/00;G01P15/08;G01P15/125;H01L21/28 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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