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发明名称 Quarzglas Vorrichtungen für die Halbleiter Industrie und Verfahren zur deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE60107035(D1) 申请公布日期 2004.12.16
申请号 DE20016007035 申请日期 2001.09.24
申请人 HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. 发明人 SEGAWA, TOHRU;SATO, TATSUHIRO;MARUKO, YOICHIRO;INAKI, KYOICHI
分类号 C03C15/00;C03C19/00;C23C16/458;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
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